Mikrosystemtechnik Leistungen

Auf Basis der Entwicklungen in der Mikroelektronik bietet die Mikrosystemtechnik die Möglichkeit mechanische Aktoren, Sensoren und Datenverarbeitung als Komplettsystem auf kleinstem Raum zu integrieren und in großer Anzahl kostengünstig herzustellen. Dadurch wird intelligente Technologie für eine breite Anzahl von Anwendungen verfügbar. Hierfür biete ich folgende Leistungen an.

Mikrosystemtechnologie/Nanotechnologie
  • Silizium-Dünnschichttechnologie
  • Aufbau und Verbindungstechnik
  • Entwurf von mikromechanischen Systemen
  • LIGA-Verfahren
  • Nanotechnologie
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